超纯水处理设备，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
　以下为超纯水处理工艺流程图：
　　
超纯水器制备超纯水的原理和步骤大体如下:
1、原水:可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。
2、源水箱：贮存中转，供后道预处理使用
3、源水泵：原水泵的主要作用是对原水增压到0.3Mpa左右供后道使用，同时该泵和反冲泵一起可作为除铁锰过滤器及活性炭过滤反洗时用。
4、多介质过滤器：本过滤器主要是过滤水中的大颗粒物质。
5：活性炭过滤器：活性炭过滤器的工作是通过碳床来完成的，组成碳床的活性炭颗粒有非常多微孔和巨大的比表面积，具有很强的物理能力。水通过碳床，水中的有机污染物、余氯被活性炭有效吸附，从而防止反渗透膜被污染及氧化损伤，延长膜的使用寿命。
6、精密过滤器：精滤器的作用主要是拦截有可能从活性炭过滤器漏出的细小颗粒，以防止损伤高压泵机械密封和划伤反渗透膜表面。
7、一级反渗透：一级反渗透装置的作用是对原水进行脱盐、能去除水中大部分无机盐、有机物、微生物等，反渗透装置由高压泵、反渗透膜组件、控制监测仪表等组成。良好的前处理措施，可以使反渗透膜获得相对较高的产水量，单支膜元件脱盐率不小于99.5%。反渗透装置长期运行的脱盐率可达98%，反渗透装置正常运行压力在1.2MPa左右，装置回收率为65%。
8、纯水箱：用于储存反渗透主机产水，以备使用，同时用于调节主机产水与管网供水的流量差，以满足高峰时期的用水量。储水箱为半密封式容器，内置液位控制器。留有空气进出口及人孔，方便设备的消毒清洁。液位控制器提供系统自动控制所需的水位信号。


广州达博普超纯水制取采用反渗透+EDI，水质电阻率最高可达10MΩ.cm以上,电导率最低可达0.1μs/cm以下